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검색글 Peter Bratin 2건
웨이퍼 수율증가 도금첨가제의 자동 온라인 관리
Automated online control of plating bath additives increases wafer yield

등록 : 2008.09.24 ⋅ 41회 인용

출처 : na, Web, 영어 5 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.01.09
CVS (cyclic voltammetric stripping)를 기반으로한 새로운 세대의 다마신 구리 도금액 온라인 분석기는 소재의 수율 향상을 제공할수 있다. μm 미만의 고 종횡비 구조를 빈공간 없이 채우는데 일반적으로 요구되는 엄격한 공정은 첨가제를 좁은 범위내에서 유지하는 것이 중요하다. 이 문제는 정기적으로 도금탱크를 샘플링...
  • 아연도금 강판용 크로메이트 처리용액에 관한 것으로서 내흑변성 및 내식성이 우수하고 아연도금강판의 표면 외관을 손상시키지 않는 아연도금강판의 크로메이트 처리용액을...
  • 비아 (트렌치) 보충에 사용 구리 Cu 도금 첨가제 (Cl-, PEG, SPS, JGB) 의 역할을 검토했다. 염소 Cl- 을 첨가하면 매크로 단계가 발생한다. PEG 를 첨가하면이 매크로 단계...
  • SMT 공정 중 오존파괴물질의 세정제를 친환경물질로 개체세정제가 개발되 그 사용이 급격히 증가할 전망이며, 국내의 대체세정제 개발 현황 및 세정제선택을 위한 고려사항 ...
  • 공환여과 · Transfer Filteration 도금액 전량을 지하 예비조로 옮기며 여과하는 방식을 말한다. 일과 작업후 도금액중에 낙하된 제품 등을 제거할 수 있으며, 양극보의 점...
  • 황산구리와 황산으로 된 산성 구리수용액에 B-N=N-A-N=N-B로 표시되는 염료유도체를 함유한 것을 특징으로 하는 산성구리도금액에 관한 것이다