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검색글 CVS 23건
웨이퍼 수율증가 도금첨가제의 자동 온라인 관리
Automated online control of plating bath additives increases wafer yield

등록 : 2008.09.24 ⋅ 41회 인용

출처 : na, Web, 영어 5 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.01.09
CVS (cyclic voltammetric stripping)를 기반으로한 새로운 세대의 다마신 구리 도금액 온라인 분석기는 소재의 수율 향상을 제공할수 있다. μm 미만의 고 종횡비 구조를 빈공간 없이 채우는데 일반적으로 요구되는 엄격한 공정은 첨가제를 좁은 범위내에서 유지하는 것이 중요하다. 이 문제는 정기적으로 도금탱크를 샘플링...
  • 환원제로 그리옥실레이트를 사용한 무전해구리도금의 개발로, 석출막의 구조와 표면형태를 연구하였다. 도금욕 조성과 작업관리는 28.0 g/l 황산구리 CuSO4 5H2O, 44.0 ...
  • 무전해도금 · Electroless Plating ^ Auto catalytic plating 전기를 사용하지 않는 도금으로, 한쪽의 금속과 또 다른 금속 원소가 화학적인 환원 반응 (외부 전기 공급이 ...
  • 구리(II)황산염(금 용해용 산화제)을 포함하는 티오황산암모늄 침출 용액으로부터 규소 분말을 사용하여 금을 회수한 후, 구리도 회수하였다. 일정 시간이 지난 후 구리의 ...
  • 노동인구가 감소하는 일본에 있어서 도금산업을 유지하는 방법으로 도금라인의 자동화와 고품질을 유지하고 생산성을 향상하는 것이 중요
  • 암모니아수 · Ammonia Water NH4OH (NH3 를 약 35%) 무색의 액체 매우 강하고 독특한 냄새 암모니아 기체를 물에 녹여 만든 용액으로 시판되는 암모니아의 일반적인 형태이...