도금피막중에 수소가 혼입되면, 수소취성이 발생하여 기계적성질이 나빠지는 것으로 알고 있습니다. 특히 전자부품에 관련되어 사용되는 동도금 피막중의 수소는, 연성등의 피막특성이 큰영향을 주어 미량의 수소도 제어할 필요가 있습니다. 일반적으로 금속재료로서 합금에는 연소법으로 수소의 분석을 하고 있습니다. 그러나 도금피막의 경우는 피막이 상당히 얇고 시료량이 적어 연소법에 의한 미량의 수소 분석은 어렵습니다.

이런경우 2차이온 질량분석법(SIMS)이 적당하며, 이 방법은 고체표면의 질량분석법으로, 수소로부터 우라늄 까지의 원소를 고감도(ppm~ppb)로 분석할수 있습니다. 도금 피막중의 수소는 ppm 수준으로 분석합니다. 이방법일때는 정량분석은 곤란한 결점을 가지고 있어, 도금 피막중의 수소함유량을 정확히 측정하기는 곤란 합니다.

그러나 여러 도금조건에 따라 도금된피막중의 수소량 변화를 조사할때는 SIMS에 의한 미량수소분석이 상당히 좋은 방법이라 생각 됩니다.