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해결 안된 질문

무전해도금에서 PdCl2 처리라는것이 정확히 어떻게 이루어지는건가요
무전해도금 whitemoon 2010.11.03 Given Points
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실리콘웨이퍼에  무전해 구리 도금을 이용해서 하기위해서

 

일단 산화막을 제거하기위해서 PdCl2 처리를 해야한다고하는데

 

정확히 알수 있을까요?

답변등록

답변 (1)

Goldbug 2010.11.18

관리자가 알려드립니다.

 

비전도성 소재에 금속화(metalizing) 하기위해서는 특별한 전처리가 필요하게 됩니다.

그중 한부분의 공정이 무전해도금 석출을 위한, 염화파라듐을 이용한 표면처리 입니다.

 

비전도소재의 무전해도금 공정은

1. 탈지 (Cleaning and Annealing)

2. 에칭 (Etching)

3. 센시타이징 (sensitizing)

4. 액티베이터 (Activator)

5. 무전해도금 (Electroless Plating/Auto catalytic plating)

의 공정으로 이루어 집니다.

 

이중 센시타이징과 악셀레이터공정이 있는데 이 악셀레이터 공정이 염화파라듐을 이용한 무전해도금전의 활성공정입니다.

센시타이징은 보통 염화석을 이용하여 후공정의 파라듐이온(다른 귀금속도 가능합니다)을 석출하게 됩니다.

이 활성화된 표면위에 이온화 경향으로 인한 무전해 도금을 하여 금속 피복을 만들게 됩니다.

 

이후 전기도금으로 연결하여 원하는 금속피막을 만들게 됩니다. 

1980년 이후는 센시타이징(Sensitizing)과 액티베이터(Activator)가 합쳐진 콜로이드 혼합촉매(캐타리스트/Catalyst)를 사용하고,

악셀레이터(Accelerator) 공정으로 강산 또는 강알카리로 석 이온을 제거하여 귀금속에 무전해도금을 하고 있습니다.

 

참고로 비전도수지(ABS) 상의 무전해도금의 좀더 자세한 내용은(타 소재도 전처리만 다를 뿐입니다)

ABS수지도금을 참조하십시요..

 

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