골드를 입힌 웨이퍼 위에 니켈도금을 하려고 합니다. 니켈도금은 무전해도금으로 할 계획이고요, 용액으로는 GIB와 FPF가 있습니다. 이 두 용액으로 보통 PCB 위에 무전해니켈도금을 많이 했었는데, 골드가 입힌 웨이퍼 위에는 어떨지 모르겠습니다. 두께는 2.5um정도 입니다. 그리고 도금에 앞서 전처리로 산성세정과 Oxone, 황산, 산성파라듐을 진행했었는데요. 골드 입힌 웨이퍼는 어떻게 전처리를 해야 하나요?(oxone에 담궜다가는 다 날라갈 거 같은데..;;)
이상입니다.
감사합니다.^^
GIB와 FPF는 상품명이겠지요?
웨이퍼위에 골드면 스퍼터링막이겠지요.
산탈지와 옥손으로 처리해도 식각은 안되니 염려없으나 전처리로서는 부족합니다.
도금용 전처리라고 하는것은 공기층과 접촉된 오염층을 제거하고 신선한 표면위에 하는것이 밀착력이 좋다는것은 두말할것도 없을 줄로 압니다. 고로 옥손이나 과수 황산계 SPS계로는 금층 활성화하는데 한계가 있습니다. 잘아시는 왕수를 하시는데 농도조절이 필요합니다.
가스떄문에 굉장히 어려운 작업이 될것입니다. 또하나 금도금 박리제를 사용하는 방법이 있습니다. 이것 역시 농도조절을 잘 하시길 바랍니다.
dummy제품 test 을 꼭 하세요.. 그 후 팔라듐으로 촉매보다 와트욕 전기도금을 아주 낮은 전류로 하시는게 무전해 니켈이 잘 됩니다. (와트욕 스트라이크는 두껍게 안하셔도 됩니다.)
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