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Fe2+/Fe3+ 산화환원 쌍이 주어진 상태에서 구리도금과 첨가제 상호작용의 연구
Investigation of Cu plating and additive interactions in the presence of Fe2+/Fe3+ Redox couple

등록 2014.03.26 ⋅ 55회 인용

출처 Columbia University, na, 영어 27 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.12.02
구리전착시 폴리에틸렌글리콜 (PEG) 과 SPS 의 거동에 대한 철/철 (Fe3+/Fe2+) 산화환원 커플의 영향을 조사하고, 구리 인쇄회로의 도금에 사용된 구리의 온칩 금속화를 위해 구현 될때 이점을 가질수 있다. 실험은 Fe3+/Fe2+ 의 존재하에서 PEG 의 억제거동이 변하지 않음을 보여 주었다. 반대로, Fe3+/Fe2+ 가 구리도...

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