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다마신 구리 전기도금에 대한 레벨러 분자중량과 농도의 영향
Impact of leveler molecular weight and concentration on damascene copper electroplating

등록 2009.04.16 ⋅ 61회 인용

출처 Novellus systems, na, 영어 16 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.07.29
분자량이 3,500~1,300,000 이고 농도가 1~20 mg/L 인 모델 레벨러로 폴리비닐 피롤리돈 (PVP) 은 수퍼필링 피처에 비해 과도한 도금 두께를 줄이는데 효과적 이면서 상향식 필링손실이 거의 없음이 밝혀졌다. 중간 PVP 분자량은 과도한 도금을 줄이는데 가장 효과적이었고 분자량이 높을수록 충진성능이 향상되었다.
  • 도금 효율 및 도금 시간 도금 효율에 대한 식은 설명이 필요없다. 도금될 니켈의 양을 이론적 양으로 나눈 비율은 퍼센트 효율을 얻기 위해 100으로 곱해야 한다. 도금 종류...
  • 예로부터 사용되고 있는 프라스틱상의 도금기술을 응용하여, 긱외부에 무전해도금을한 전자파실드 방법에 관하여, 그 처리공정의 내용과 각종 조건에 있어서 실드특성을 설명
  • - 6가 크롬 프리타입 - 고농축액으로 내식성및 크로메이트 처리 방식에 따라 유연성이 높다 - 불소 성분과 산화제가 없어 폐수처리 용이 - 피막의 내식성이 6가 크로메이트...
  • 담수 중에서 크롬도금의 틈부식 거동에 관한 연구를 하기 위해, 탄소강재인 냉간압연 강판에 크롬도금을 실시하여 다수 틈부식 시험 및 틈 변화에 따른 전기화학적 분극실험...
  • 중소 규모의 경질크롬 도금업이 크롬에 대한 EPA MACT (Maximum Achievable Technology Standard) 을 1997 년 1월 마감일을 맞추도록 돕는 것이다. 이 프로젝트는 EPA-CSI ...