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구리 Cu 다마신 구조의 구리 전기도금 충전에 대한 도금 첨가제 및 전류 밀도 효과
Bath Additive and Current Density Effects on Copper Electroplating Fill of Cu Damascene Structures

등록 : 2022.02.21 ⋅ 42회 인용

출처 : Mat. Res. Soc. Symp. Proc., 562권 1999년, 영어 7 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.02.21
구리 전기 도금은 고급 상호 연결 구조 다마신의 갭 충진을 위한 선도적인 기술이 되었다. 공극과 이음매가 없는 전착물을 생성하는 강력한 전기도금 공정을 개발하는 열쇠는 첨가제 성분, 즉 레벨러, 광택제 및 습윤제의 역할과 상대적 확산/흡착 특성을 이해하는 것이다. 음극 전류/전위 관계에 대한 통찰력을 얻는 것은 ...
  • 염화니켈 도금욕 ^ Nickel Chloride Plating bath 액전압이 낮아 음극효율이 우수하고 두께도금도 할수 있으나, 내부응력이 큰 도금이 되어 연성이 저하된다. 도금색상은 전...
  • 젤라틴, 벤젠설폰산 및 나트륨염의 단계적 첨가물을 사용하여 와트욕에서 광택니켈의 전기도금을 조사했다. 내포물이 있는 동일한 욕에서 미세 분산된 니켈층을 전기도금하...
  • 도금용 약제가 공존하는 염화아연용액에서의 아연의 응집침전제거에 관하여, 도금약제의 공존농도 및 초기아연농도의 영향을 검토
  • 청동 · Bronze 구리 (Cu) 와 주석 (Sn) 을 주성분으로 하는 합금으로 아연 (Zn) 이나 납 (Pb) 또는 철 (Fe) 을 다소 함유하는 경우도 있다. 청동은 황동보다 내식성이 강하...
  • 스테인리스강이 해안 근처에서 녹슬거나 녹이 든 물로 씻은후 녹슬어가는 현상에 대한 협의는 별로 없다고 한다. 평범한 강철이 밤새 비에 노출되는 것과 놀랍게도 똑같은 ...