로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 11137건

습식도금 자료분류

자료수 11138 건

추천글

Tag LIST

구리 평탄화에 대한 패턴 스케일 효과와 그 웨이퍼 및 구리 레베링 첨가제의 실험 연구
Experimental study of copper leveling additives and their wafer and pattern-scale effect on copper planarization

등록 2022.07.30 ⋅ 86회 인용

출처 Comptes Rendus Chimie, 16권 2013년, 영어 6 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

기타

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.08.06
Cu 레베링 첨가제가 전착된 Cu 지형 및 후속 평레베링 거동에 미치는 영향을 패턴 및 웨이퍼 스케일 에서 연구하였다. 레벨링 첨가제는 전착된 Cu 지형, 특히 '마운딩'을 크게 줄일수 있다. 레벨러 무첨가 화학물질로부터 전착된 Cu의 경우, 상당한 패턴 규모의 토포그래피가 거의 전체 레벨링 공정에 걸쳐 지속되는 반...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 도금 첨가제의 작용 기구와 표면 형상 제어 - 기능에서 과학으로
  2. 도금재료 카타록/TDS.. 반광택니켈 가이드 / Semi-Bright Nickel Guide / NiMac Semi-Bright System
  3. 연구문헌자료.. 금속 전착에 있어서 레베링과 광택제의 몇가지 기초적인 측면
  4. 도금기술노트.. 니켈첨가제효과
  5. 연구문헌자료.. 황산 구리도금욕에서 광택 구리도금의 레베링에 있어서 욕조성과 광택제의 영향
  6. 연구문헌자료.. 시안화구리 도금의 도금조건 및 첨가제의 평골화 효과의 영향
  7. 연구문헌자료.. 니켈도금에 있어서 아세틸렌계 첨가제의 니켈석출전위에 있어서 영향과 레베링작용에 관하여
  8. 연구문헌자료.. 아연 전기도금의 전착성에 미치는 폴리에틸렌 글리콜의 영향
  9. 연구문헌자료.. 헐셀시험에 의한 새로운 도금의 레베링측정
  10. 연구문헌자료.. 도금의 평골능에 관한 실험법에 관하여
  • 전기 영동 코팅법 등으로 이미 익숙한 콜로이드 입자계의 계면진동 전기현상에 관하여 말한다. 전기 진동, 전기침투 유동전위, 그리고 침강전위 등은 다른 현상처럼 보이는 ...
  • 가용성 양극을 사용하여 도금하는 경우에는 양극을 활성 상태로 유지 조업하는 것이 바람직하다. 목욕 온도 상승 전극 또는 목욕의 동요 욕의 여과 등은 모두 양극의 받는 ...
  • 도금된 피막의 결정배향에 대한 소재의 초음파처리 및 진동의 영향과 전기화학적 변수를 조사했다.
  • 구리 전기도금 전에 구리 스퍼터 코팅된 TiN/Si (100) 에서 표면 천연산화물을 제거하는 기존 전처리 시스템의 능력을 조사했다. 구리 시드층에 있는 구리산화물은 표면전처...
  • 알루미늄과 알루미늄 합금 Aluminium Alloy 알루미늄은 알루미나 (Al2O3) 가 주성분인 보크사이트 라는 광석에서 알루미나를 분리, 추출하고 이것을 용융된 빙정석 중에서 ...