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헐셀을 통한 보조 양극의 바이폴라 현상에 의한 음극의 전류밀도 분포 개선 영향성 연구
A Study on Improving the Current Density Distribution of the Cathode by the Bipolar Phenomenon of the Auxiliary Anode through the Hull Cell Experiment

등록 2025.04.26 ⋅ 20회 인용

출처 Microelectron. Packag. Soc., 30권 1호 2023년, 한클 8 쪽

분류 연구

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저자

김영서1) 정연수2) 신한균3) 김정한4) 이효종5)

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2025.04.26
외부로부터 전원이 인가되지 않은 바이폴라 전극을 통해 도금 두께 산포 개선의 가능성을 살펴 보고자 헐셀의 불균일한 전위분포에 대해 보조 양극이 있는 경우에 바이폴라 특성을 관찰하 여 음극의 불균일 두께 산포를 개선할 수 있는 가능성 평가를 실험 및 시뮬레이션을 통해 검증하였다. 10 mA/cm2 전류밀도로 75분...