전해 황산을 이용한 ABS 수지의 에칭 처리 기술
반도체 제조 공정의 세정 용도용으로 개발된 전해 황산 기술을 크롬 프리 에칭 처리 공정으로서 적용을 시도하였다. 전해 황산이란 고농도의 황산을 전기분해하여 퍼옥소이황산이나 퍼옥소일황산과 같은 강산화성 물질을 함유시킨 용액이다. 전해 황산 기술의 개요와 이를 이용한 ABS 수지의 에칭 효과 ...
엣칭/부식
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표면기술 · 71권 12호 2020년 · Haruyoshi YAMAKAWA ·
Hajime ISERI
외 ..
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