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알칼리 Alkali 물질이 포함되지 않은
화학물질
을 이용한 코발트 Co 합금박막의 무전해도금
알칼리 물질이 포함되지 않은
화학물질
을 사용하여 구리배선의 보호막 제조를 위한 코발트 Co 합금박막의
무전해도금
을 수행 하였다. pH, Co 전구체 농도, 전...
goldbug
|
2008-12-10
|
조회 수
44
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1
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