Aveni S.A는 5nm 이하 BELO 공정에서 염기성구리도금화학물질을 이용한 구리배선으로 5나노대의 기존 산성욕보다 우수한것이 입증되었고, 내년초 결과를 발표할것이라고 한다.. 자세히보기 : http://www.internews.kr...