수정 에너지 분산형 분광분석

^ Energy Dispersive Spectrometer

EDS 는 Energy Dispersive Spectrometer 의 약자로 energy despersive x-ray dpectroscopy 라는 원소분석기를 말하며 보통 EDSㆍEDXㆍEDAx 등으로 불린다.

• EDAX 는 EDS 를 처음 사용한 미국회사 이름으로 보통 EDS 라 부르면 된다.
• 일반적으로 전자를 만들어 낼수 있는 장비에 장착하여 검출기 형태로 사용된다.
• SEM (scannng eletron microscopy) 이나 TEM (transmission electron microscopy), 그리고 FIB (focused ion beam) 등의 공정 및 분석장비에 가장 범용적으로 장착된다.

• 전류인가에 의하여 발생된 전자를 가속시켜 시료에 충돌시키면, 시료 내부의 전자가 입사전자에 의해 외부로 튀어나가게 된다 (이를 이차전자, secondraty electron-SE-하고하며 이 SE 를 이용하여 시료의 고배율 이미지 관찰이 가능하게 된다).

• 이때 튀어나간 자리가 비게 되면, 원자는 열역학적으로 에너지를 낮추기 위하여 상위 궤도에 있는 전자가 빈자리로 천이되어 원자를 안정화한다.

• 이러한 과정에서 두 에너지 궤도의 차이 만큼 X-ray 형태로 발산되는데 이 에너지를 측정함으로서 시료의 정성분석도 가능하도록 만든 장비가 EDS 이다.

수정 참고

• 도금액분석
• 분석기기