국산화 0인 반도체용 구리 첨가제

생기원 이민형 박사 연구팀이 개발

분당 3 ㎛ 의 고속도금에서 두께 편차 2% 이내의 평탄화 첨가제를 찾아내 고평탄도를 구현.

https://m.youtube.com/watch?v=OfwrHMuh-9s