이노광기는 한국산업단지공단 ‘생산기술사업화 지원사업’을 통해 개발한 렌즈기술로서, 렌즈부가 이동하면서 입사광을 나노 선광원으로 스캐닝하여,  UV 산란광을 일방향 볼록렌즈로 집광하여 광파워를 한층 높여 구현하는 방법이다. 

대부분의 노광기는 반사경을 통해 확산광을 평행광으로 변환해 빛을 투여하는 면광원 방식의 평행광 노광기로, 다수의 반사경(고정밀 렌즈)으로 구성돼 있다.

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