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습식 에칭 기술의 특징과 동향
Wet Etching

등록 2025.10.06 ⋅ 30회 인용

출처 표면기술, 76권 4호 2025년, 일본어 4 쪽

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湿式エッチング技術の特徴と動向

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2025.10.06
습식 에칭은 화학 반응에 의한 용해 작용을 이용하여 표면을 평활하게 하거나 거칠거나 혹은 표면에서 재료를 제거함으로써 3차원 형상을 형성하는 가공 방법이다. 옛날부터 금속화학가공법, 화학절삭, 혹은 습식부식법 등의 명칭으로 이용되어 현재는 습식 에칭, 혹은 습식 에칭이라고 불리고 있다.
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