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에칭 기술에 의한 미세 가공
Microstructures Fabricated by Anisotropic Wet Etching Technologies

등록 2025.10.06 ⋅ 50회 인용

출처 표면기술, 76권 4호 2025년, 일본어 5 쪽

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기타

エッチング技術による微細加工

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2025.10.17
Si의 결정 구조를 이용하여 Si 기판을 에칭함으로써 얻어지는 형상은 결정 구조에 의존하고, 드라이 에칭에서는 실현할 수 없는 다면체 형상이 된다. 이하, 결정 이방성 에칭 기술에 대하여 상세히 설명한다.
  • 품질관리와 품질보증을 하기 위해서는 적정한 도금의 품질검사가 필요하다. 도금 품질검사란 목표로하는 품질기준에 대하여 만족하는가 그렇지 않은가를 팜정하는 것임므로 ...
  • 비스벤젠설폰이미드 ^ Bis Benzene Sulphonylimide ^ dibenzenesulfonimide [BBI] CAS 2618-96-4 C12H11NO4S2 = 297.35 g/㏖ 백색~약한 황색의 결정분말 물에 용해 [니켈도...
  • 20여년동안 양극산화 자료를 18개정판까지 만들어 관련업계, 학생 및 이책을 필요로 하는 모든 분들에게 5000권이상 배포한 것을 생각하면 감개무량합니다. 좋은책은 아니더...
  • 철족금속중에 철을, 불활성금속으로는 크롬을 선택하여, 아연-철-크롬 Zn-Fe-Cr 삼원합금 전석을 하고, 이 3원 합금의 전석과함께 아연-크롬 Zn-Cr 합금도 실험하여 양자를 ...
  • 마그네슘합금 제품의 표면처리공정은 일반적으로 기계적, 화학적 전처리와 산세 공정을 거친 후에 전기 또는 전기화학적 처리, 하지도금처리 등을 실시하며 최종적으로 도장...