수정 디메틸아민보란 금도금욕

^ Dimethylamineboran Gold Bath

디메틸아민보란을 환원제로 한 도금욕은, 환원재로 DMAB (디메틸아민보란) 을 사용할때,

주 반응식 (1) 에 따라

3Ni²⁺ + (CH₃)₂NHBH₃ + 3H₂O → 3Ni⁰ + H₃BO₃ + (CH₃)₂NH⁺ + 5H⁺ …⁽¹⁾

부반응
4Ni²⁺ + 2 (CH₃)₂ NHBH₃ + 3H₂O → 2Ni⁰ + Ni₂B + H₃BO₃ + 2(CH₃)₂NH ⁺ + 6H ^{+ …(2)}
(CH₃)₂NHBH₃ + 3H₂O → H₃BO₃ + (CH₃)₂NH⁺ + 3H₂ ↑ ^…(3)

을 만든다.

구리는 DMAB 의 산화반응에 대하여 촉매성 나타내기 위하여, 구리소재에 〔Ni-B〕 도금을 하는 경우 팔라듐과 같은 촉매 부여 처리가 필요치 않으며, 식 (3) 의 반응에 따라 붕소를 공석한다

• 디메틸아민보란욕은 중성과 약산성의 도금욕이 가능하다.
• 디메틸아민보란욕은 용해량을 증가하기 위하여 소량의 알코올이 필요하다

니켈-보론 도금피막의 특성

Ni 함량 (97~99.7 %)

B 함량 (0.3~3 %) 의 결정질

비중 7.7~8.7

전기저항 약 8.5 uΩ/m ℃

수정 도금욕 조성

도금액의 조성은 복잡하지만 불순물이 없으며 안정하며 순수한 금으로 반도체 본딩용으로 사용하기 좋다. 이 도금액의 시안욕으로 도금속도가 늦으며, 액의 안정성이 좋지않고, 니켈의 오염에 민감하며, 강알칼리로 알칼리에 불안정한 소재에는 적당치 않다.

0.02 ㏖/l KAu(CN)₂

0.02 ㏖/l KCN

0.80 ㏖/l KOH

0.40 ㏖/l DMAB

• 온도 85 ℃
• 도금속도 0.40 ㎛/시간

수정 참고

• 디메틸아민보란
• 무전해도금
• 보라잔욕
• 차아인산소다욕
• 히드라진욕
• 무전해 복합도금