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LIGA-
Qstation
수정 LIGA
^Laser Induced Galvanic Ablation
X-ray 사진현상을 이용하여 도금틀을 형성하고 전기도금 후, 도금틀을 제거함으로서 높은 아스펙 비 (Aspect Ratio) 를 가지는 마이크로 금속 구조물을 만드는 공정이다. X-ray 노광은 고가의 장비로 비용과 시간이 많이 드는 단점이 있다.
이에 비하여 저렴한 비용으로 수십 미크론높이의 금속 구조물을 만들수 있는 LIGA-like 공정이 많이 이용되는데, 이공정은 자외선을 이용한 사진과 현상 또는 반응성 이온 식각을 이용하여 도금틀을 형성한다.
수정 참조
