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MEMS-
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수정 MEMS
^ Micro Electrol Mechanical System
마이크로 크기의 전기적 힘에 의하여 기계적 구동이 가능한 장치의 총칭으로, Sensor 나 Actulator, 기계적 구조물과 우주항공 및 의학분야까지 그 범위가 확대되고 있다.
이러한 MEMS 제작기술의 하나인 LIGA 와 LIGA-like 공정에서도 전기도금을 이용한 미세 금속 구조물의 제작에 관한 연구가 활발하게 이루어지고 있다.
수정 참고
