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[ 도금기술노트 ] 습식도금과 표면처리 연구노트 / Wet Plating Data Note

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루테늄도금

조회 수 3133 ⋅ 화양별곡 마지막수정 2024.09.21
루테늄도금
  • Real Web Magazine
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수정 루테늄 도금

^ Ruthenium Plating

 

백금족 원소로 저 접촉저항ㆍ내경도ㆍ내식성ㆍ내마모성 등이 우수하나, 내부응력이 크고 크랙의 발생이 쉬워 3 ㎛ 이상의 도금이 어렵다. 습동접점, 볼펜의 볼, 장식품 등에 사용하며, 니트로소염화루테늄-황산욕, 설파민산욕 및 기타 도금욕이 이용된다.

 

 

여러 윈소의 특성​

 

 

루테늄

로듐

팔라듐

비중(g/cm3)
융점(℃)
연성
경도(누프)
내식성
내마모성
전기저항(Ω/cm)
내열성

12.5
2310
X
800~900
O
X
1.2
◎

12.0~12.5
1960
X
900~1000
O
◎
0.8
O

11.5~12.0
1552
△
250~350X
△(NO3에 약함)
X
1.1
△

 

 

도금욕 조성 1 |1|

0.5~1.0 g/l Ru (Ruthenium Chloride)

100 g/l HCl

147 g/l Sulphamic Acid

㏗ 1.8

  • 온도 60 ℃
  • 전류밀도 0.5 A/dm2

 

도금욕 조성 2 |2|

32.5 g/l 테트라크롤로아쿠아루테늄산칼륨 (Ru 10~20 g/l)

50 ㎖/l 인산

110 g/l 제2인산칼륨

㏗ 1.7

  • 온도 70 ℃
  • 전류밀도 1 A/dm2

 

수정 참고

 

보충자료
  1. ^ 'Simple Methode ~ Ruthenium Plating, V.Ravindran, Electrochemistry 15권 7/8호 1999년
  2. ^ '~ルテニウムめっき, T. NINASE 외, 표면기술, 55권 10호 2004년