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음극스퍼터링-
박막용 무전해 구리도금욕은 촉매핵 상의 구리 피복성으로, 두께용은 구리 소재위의 석출속도나 피막 물성에 적당한 성분으로 구성되어 있다. 여기서 각 성분의 ...
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수정 음극 스퍼터링 · sputtering
진공속에 아르곤 같은 불활성 가스를 넣고 DC 전류를 통전하면, 음극에서 전자가 튀어 나와 기체분자와 타겟 표면에 충돌한다. 충돌한 분자의 일부는 이온화가 되나 대부분은 이온화하지 못하고, 원래의 안정한 상태로 되돌아 가게 된다.
이 때 글로 (glow)라는 광선을 방전하여 (글로방전) 음극표면에 물질을 증착하게 된다. 음극 스퍼터링은 이 플라즈마 속의 이온을 음극의 음전기의 힘으로 음극 쪽에 가속시켜 음극물질을 튕겨 내서 소재에 부착되게 하는 현상을 말한다.
수정 참고
