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음극스퍼터링-
오늘은 어떤 표면처리 무슨 공부를 할까?
목차...
수정 음극 스퍼터링 · sputtering
진공속에 아르곤 같은 불활성 가스를 넣고 DC 전류를 통전하면, 음극에서 전자가 튀어 나와 기체분자와 타겟 표면에 충돌한다. 충돌한 분자의 일부는 이온화가 되나 대부분은 이온화하지 못하고, 원래의 안정한 상태로 되돌아 가게 된다.
이 때 글로 (glow)라는 광선을 방전하여 (글로방전) 음극표면에 물질을 증착하게 된다. 음극 스퍼터링은 이 플라즈마 속의 이온을 음극의 음전기의 힘으로 음극 쪽에 가속시켜 음극물질을 튕겨 내서 소재에 부착되게 하는 현상을 말한다.
수정 참고
