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산성 황산구리 도금욕 : 염화물과 구리의 관리
Acid Copper Sulfate Plating Bath : Control of Chloride and Copper

등록 2023.02.09 ⋅ 160회 인용

출처 Allied-Signal AerDspace CDmpany, August 1992,

분류 연구, 해설

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2023.02.09
구리 도금욕 관리를 위한 인쇄회로의 스루홀의 구리 전착에 결정적으로 영향을 미치는 유기 및 무기 화학 성분의 관리와 전기화학적 기술을 조사하였다. 산성 황산구리 전기도금욕에서 염화물 및 구리 관리에 중점을 두었다.
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  • 배선물질의 구리로의 전환에 따라 새로운 층간 절연막/확산방지막의 개발. 상감공정을 통한 3차원 패턴구조의 형성, 습식/무전해도금을 이용한 무결함 구리막의 형성에 대한...