수정 에너지분산 분광법

^ Modified Energy Dispersion Spectroscopy (EDS)

EDS, EDX 또는 XEDS 라고도 한다. 물질의 화학적 특성 분석ㆍ원소 분석을 가능하게 하는 분석 방법으로 에너지원 (전자 현미경의 전자 빔 등) 에 의해 자극되는 시료는 코어 쉘 전자를 방출하여 흡수된 에너지의 일부를 방출한다. 그러면 더 높은 에너지 외부 셸 전자가 그 자리를 채우게 되고 원자 기원에 기반한 특성 스펙트럼을 가진 X선으로서 에너지 차이가 방출된다.

이를 통해 에너지원에 의해 자극된 주어진 시료량의 조성을 분석할 수 있으며, 스펙트럼의 피크 위치는 원소를 식별하고, 신호의 강도로 원소의 농도를 알 수 있다.

수정 참고

• 도금액분석
• 분석기기