도금 첨가제 제조 원료약품 - 도금기술노트

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[ 도금기술노트 ] 습식도금과 표면처리 연구노트 / Wet Plating Data Note

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조회 수 4986 ⋅ 화양별곡 마지막수정 2024.08.19

스퍼터링

목차...

이온 플레이팅과 같이 기기내부를 고진공으로 하고, 타켓에 수백~수천 V 의 고압을 가하고, 가스를 사용하여 플라즈마를 발생시키면, 타겟의 원자와 반응하여 막을 형성한다.

이온 플레이팅과 다른 점은, 타겟이 용해되지 않도록 위하여, 증발 온도가 다른 합금이나, 상당히 고불점의 금속을 타겟으로 사용하는 경우도 있다.

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