수정붕소산 무전해 금도금욕

Sodium Boronhydride Electroless Gold Bath

이 도금액은 Au 도금액으로는 두꺼운 도금이 되지만 2 미크론/시간으로 제한된다. 공기교반의 강약에 따라 사용중 12시간 정도에 자기분해하기 쉬워 그다지 실용적이지 못하다. 중붕소산 소다욕은 화학반응에 관하여 전기화학적으로 상세한 연구가 이루어져, 환원제로 작용하는 화학종은 BH₄^-가 아니라, 그것이 가수분해하여 BO₂^- 로 되는 중간체인 BH₃OH^- 이다'

BH₄^- + H₂O → BH₃OH^- + H₂BH₃OH^- + H₂O → BO₂^- + 3H₂

이 반응은 금 전극으로 BH₄^-의 산화가 2단계를 걸쳐 진행되며, 제1단계의 BH₃OH^-의 산화반응이 일어나는 범위가 무전해금의 석출전위와 일치한다.

0.86 g/l KAu(CN)₂

6.5 g/l KCN

11.2 g/l KOH

10.8 g/l KBH₄

• 온도 70 °C
• 두께 1.5 µm/시간

5.8 g/l KAu(CN)₂

6.5 g/l KCN

11.2 g/l KOH

10.8 g/l KBH₄

• 온도 70 °C
• 두께 0.5 µm/시간

수정관리

• EDTA와 타노라민은 금속불순물과 착염을 이루어 액을 안정하게 한다.
• 사용수는 탈이온수를 이용한다
• 포토레지스터, 폴리플로필렌은 도금욕에 안정하다
• 폴리에틸렌은 도금을 억제한다
• 도금속도를 증가하기 위해 교반증가, 온도상승, 유리시안 감소, KOH 감소, 수소화붕소 농도 증가, 금농도를 증가한다.
• 안정제로 탈륨을 사용하면 최대 10 µm 까지 도금이 가능하다.
• 염화납을 사용하면 교반 없이 2.5 µm/시간의 도금이 가능하다
• 황산탈륨 농도가 100 ppm 이 넘어가면 욕이 불안정해지며 석출 색상이 변한다.

수정참고

• 무전해금도금
• 무전해도금
• 중붕소산소다욕