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Dry Process

 

 

용액을 사용하지 않는도금으로 보통은 용융도금을 말하나, 용사법, 확산피복, CVD(chemical vapor deposition)과 PVD(physical vapor deposition)등도 포함될수 있다.

 

건식도금의 비교

 

분류

진공증착

스퍼터링

이온프레이팅

증발금속

저융점금속
고융점금속
합금금속
금속의공급

용이
가(전원가격상승)
어렵다
매회 추가/교체

가능(타겟 수냉)
용이
용이
장기간 연속사용가능

용이
가(전원가격상승)
가능
매회추가/교체

막의성질

막생성속도
핀홀
기재와의 밀착성
마스킹성

우수
적다
가능
우수

빈약(물질에따라 다름)
극소
양호
어렵다

양호
적다
우수
어렵다

경제성

진공도
조작성
생산성
장치가격

진공관(10~2Pa 이하)
양호
우수
저가~고가(증발원에 따라다름)

중진공(10~2 Pa)
우수
빈약
조금고가

중진공(25~0.5 Pa)
가능
양호
조금고가

 

 

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수정참고글

 

 

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