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수정건식도금

Dry Process

 

  • 용액을 사용하지 않는 도금으로 보통은 용융도금을 말하나, 용사법, 확산피복, CVD(chemical vapor deposition)과 PVD(physical vapor deposition) 등도 포함될 수 있다.

 

건식도금의 비교

 

분류

진공증착

스퍼터링

이온프레이팅

증발금속

저융점금속
고융점금속
합금금속
금속의공급

용이
가(전원가격상승)
어렵다
매회 추가/교체

가능(타겟 수냉)
용이
용이
장기간 연속사용가능

용이
가(전원가격상승)
가능
매회추가/교체

막의성질

막생성속도
핀홀
기재와의 밀착성
마스킹성

우수
적다
가능
우수

빈약(물질에따라 다름)
극소
양호
어렵다

양호
적다
우수
어렵다

경제성

진공도
조작성
생산성
장치가격

진공관(10~2Pa 이하)
양호
우수
저가~고가(증발원에 따라다름)

중진공(10~2 Pa)
우수
빈약
조금고가

중진공(25~0.5 Pa)
가능
양호
조금고가

 

 

수정참고글