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기계내부를 10-3~10-5 Pa 의 고진공으로 만들고, 전자 빔을 증착제에 조사하여 증발시킨다. 증착원에 전압을 가한 (+) 이온으로 증착 입자는 피도금물에 부착되고, 급속히 냉각되어 고체화 된다. 또, 반응성 가스(질소나 아세틸렌)을 이용함에 따라, 가스의 원자를 말려들게 하면 여러 색상을 만들고 색의 농도도 설정이 가능하다.
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