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MEMS

조회 수 2032 ⋅ 화양별곡 마지막수정 2024.08.31

  • 고온 (40ºC) 작업 특성이 매우 우수합니다. 레베링과 광택이 저전류 범위까지 우수합니다. 광택제 분해가 적어 활성탄 여과 기간을 길게 할수 있습니다. 염료의 ...

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수정 MEMS

^ Micro Electrol Mechanical System

 

마이크로 크기의 전기적 힘에 의하여 기계적 구동이 가능한 장치의 총칭으로, Sensor 나 Actulator, 기계적 구조물과 우주항공 및 의학분야까지 그 범위가 확대되고 있다.

 

이러한 MEMS 제작기술의 하나인 LIGA 와 LIGA-like 공정에서도 전기도금을 이용한 미세 금속 구조물의 제작에 관한 연구가 활발하게 이루어지고 있다.

 

 

수정 참고