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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

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무전해도금에 의한 귀금속 미립자 촉매층의 부여와 습식에칭에 의한 킬리콘의 마이크로패터닝
Electroless Deposition of Noble Metal Nano Particles as Catalyst and Subsequent Micropatterning of Silicon Substrate by Wet Chemical Etching

등록 2009.08.05 ⋅ 28회 인용

출처 전기화학, 76권 3호 2008년, 일어 4 쪽

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자료요약
카테고리 : 비금속무전해 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.12.03
직경 3 µm 에서 200 nm 크기의 폴리스틸렌미립자를 마스크로 이용하여, 실리콘 凹凸 구조의 주기를 나노미터 크기 까지 미세화 하는것을 검토하고, 2액 활성 전처리를 이용한 팔라듐 미립자 촉매의 위치 선택적 부여를 검토하였다.
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