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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

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무전해도금에 의한 귀금속 미립자 촉매층의 부여와 습식에칭에 의한 킬리콘의 마이크로패터닝
Electroless Deposition of Noble Metal Nano Particles as Catalyst and Subsequent Micropatterning of Silicon Substrate by Wet Chemical Etching

등록 2009.08.05 ⋅ 32회 인용

출처 전기화학, 76권 3호 2008년, 일어 4 쪽

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자료요약
카테고리 : 비금속무전해 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.12.03
직경 3 µm 에서 200 nm 크기의 폴리스틸렌미립자를 마스크로 이용하여, 실리콘 凹凸 구조의 주기를 나노미터 크기 까지 미세화 하는것을 검토하고, 2액 활성 전처리를 이용한 팔라듐 미립자 촉매의 위치 선택적 부여를 검토하였다.
  • 구리의 펄스 전기분해는 황산구리욕에서 구리를 전착하여 체계적으로 조사되었다. 전류 밀도 범위가 2.5~7.5 A/dm2 인 10~100 Hz 주파수에서 5~80 % 의 펄스 듀티사이클이 ...
  • 라우릴황산나트륨은 무전해니켈 도금에 없어서는 안될 핀홀 방지제다. 대형 강재부품의 무전해니켈 도금과정에서 부품표면에 백색 티클이 발생하기 쉬워 무전해니켈...
  • 고주파 열처리 철강재료 소재표면을 고주파 유도전류에 따라 급열-급냉하여 소성하는 방법으로 특히 중탄소강ㆍ합금강ㆍ주조제품 등에 이용된다. 경화층의 두께는 0.4～5 ㎜...
  • 주석-은 합금도금욕 ^ Tin-Silver alloy Plating Bath [은도금]에 비하여 내마모성ㆍ내변색성이 우수한 도금으로 전기접점 등에 많이 이용된다. 시안 암모니아욕ㆍ시안 주석...
  • 트라이볼로지 · Tribology 트라이볼로지 (Tribology) 는 마찰ㆍ마모ㆍ윤할ㆍ베어링 등의 분야에 있어서 상대 운동을 하는 접촉면과 그와 관련된 물리 화학 재료 역학 등 극...