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무전해도금에 의한 귀금속 미립자 촉매층의 부여와 습식에칭에 의한 킬리콘의 마이크로패터닝
Electroless Deposition of Noble Metal Nano Particles as Catalyst and Subsequent Micropatterning of Silicon Substrate by Wet Chemical Etching

등록 : 2009.08.05 ⋅ 21회 인용

출처 : 전기화학, 76권 3호 2008년, 일어 4 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 비금속무전해 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.12.03
직경 3 µm 에서 200 nm 크기의 폴리스틸렌미립자를 마스크로 이용하여, 실리콘 凹凸 구조의 주기를 나노미터 크기 까지 미세화 하는것을 검토하고, 2액 활성 전처리를 이용한 팔라듐 미립자 촉매의 위치 선택적 부여를 검토하였다.