248 nm 엑시머 레이져 지원 선택적 무전해 구리 도금 마이크로-코일
엑시머 레이저에 의해 생성되고 무전해 구리도금 용 반응물에 의해 활성화되는 마이크로 코일 패턴의 템플릿이 설명하였다. 생성된 마이크로 코일 패턴은 기판에서 구리패턴으로 변환되고 구리 미세 구조가 형성되었다. 이 방법은 기판에 구리 패턴을 형성하는 기존의 리소그래피 공정과 비교하여 기판...
구리/Cu
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Microelectronic Engineering · 71권 2004년 · C.T. Pan ·
참조 49회
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