금-주석 AuSn 합금박막 전기도금의 비시안욕 안정화의 개발
다양한 조성의 금-주석 Au-Sn 합금은 약산성 염화물 기반 용액을 사용하여 블랭크 웨이퍼와 패턴 웨이퍼에 성공적으로 펄스도금을 할수있다. 그러나, 도금용액은 제한된 안정성 (약 2~3일) 을 가지며, 그 후에는 도금액 조성을 제어 할수 없다. 이 작업의 목적은 보다 안정적인 Au-Sn 전기도금액을 개발...
금은/합금
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MATERIALS SCIENCE · 1권 2006년 · A. HE ·
Q. LIU
외 ..
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