MCM-L 기반 기술의 무전해 Ni-P/Ni-W-P 박막저항
무전해도금 Ni-P / Ni-W-P 합금은 5~50 Ω/square 범위의 저항 값과 5O ppm/℃ 미만의 절대저항 온도계수를 달성하는데 사용되며, 이는 많은 저항용도 요구사항을 충족하기에 충분하다. 패터닝된 포토레지스트에 얇은(100~200 A) 시드층을 무전해도금 한다. 초기 블랭킷 시드층의 시딩 균일성의 개선은 도...
합금/복합
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IEEE · 1998 · Premjeet Chahal ·
Rao R. Tummala
외 ..
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