코발트 전기도금의 수소진화에 대한 계면활성제의 영향
열팽창 계수가 낮은 코발트는 차세대 집적회로 인터커넥트 금속으로 구리를 대체할 전망이 있어 많은 관심을 받고 있다. 본 논문은 전착 코발트의 수소 발생에 대한 다양한 계면활성제의 영향을 연구하고, 음이온성 계면활성제인 나트륨 라우릴 설페이트, 양이온성 계면활성제인 트리에탄올 아민 및 비...
니켈/합금
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Plating and Finishing · 41권 4호 2019년 · NI Xiuren ·
CHEN Yuanming
외 ..
참조 4회
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