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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

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MEMS 용 역펄스 자성도금 공정
Pulse Reversal Permalloy Plating Process for MEMS Applications

등록 : 2015.03.21 ⋅ 12회 인용

출처 : ECS Transactions, 3권 25호 2007년, 영어 11 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.07.11
니켈-철, 특히 퍼멀로이 도금은 40년 이상 알려져 사용되어 왔지만 여전히 해결해야할 안정성 및 유지 관리와 관련된 몇가지 문제가 있다. 저응력 도금으로 사카린이 없는 펄스반전 도금 퍼멀로이 전해질을 제시하고 선택된 MEMS 응용을 시연하였다. 강력한 착화제인 5-설포살리실산을 사용하면 도금욕에 Fe3+ ...
  • 전자파 노이즈에 의한 전자기기의 전파장해가 사회문제로 되어, 이의 방지를 위한 규격을 만들어 규제되고 있으며, 일본에서의 규제를 중심으로, 국내외의 현황에 관한 ...
  • 무전해금도금조 및 이를 사용한 도금법이 제공된다. 무전해금 Au 도금조는 수용성금 화합물, 도금조에서 금이온을 안정화시키지만 도금조중에 니켈, 코발트 또는 팔라듐...
  • 전기아연도금 크로메이트로 도장과 유사한 광택 균일성이 있는 국방색 크로메이트로 진한 녹색피막을 얻을수 있다. 내식성 밀착성이 일반 크로메이트에 비하여 대단히 우수...
  • pH 4.6 ± 0.2 및 온도 85 ± 2 ℃ 에서 1 g/L 서브미크론 질화규소 입자를 함유하는 차아인산염 환원 무전해 니켈욕을 사용하여 복합 피막을 제조하였다. 일반 Ni-P 피막과 복...
  • 표면기술은 화학적 전기적 물리적 기계적 복합적 공동정에의해 용액중이나 진공중에서 전자특성및 첨단과학기술에 이르기까지 다양한 문제를 다루는 학문이다