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MEMS 용 역펄스 자성도금 공정
Pulse Reversal Permalloy Plating Process for MEMS Applications

등록 2015.03.21 ⋅ 38회 인용

출처 ECS Transactions, 3권 25호 2007년, 영어 11 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.07.11
니켈-철, 특히 퍼멀로이 도금은 40년 이상 알려져 사용되어 왔지만 여전히 해결해야할 안정성 및 유지 관리와 관련된 몇가지 문제가 있다. 저응력 도금으로 사카린이 없는 펄스반전 도금 퍼멀로이 전해질을 제시하고 선택된 MEMS 응용을 시연하였다. 강력한 착화제인 5-설포살리실산을 사용하면 도금욕에 Fe3+ ...
  • 목적에 적합한 성질을 얻기 위하여 다른 종류의 미립자나 여러 종류의 금속 가운데서 적합한 재료를 선택하는 것은 복합 도금기술에서 매우중요한 점으로 되어 있다. 미립자...
  • 암모니아 알칼리 수조에서 얻은 무전해 니켈-주석-인 합금 도금의 특성에 대한 수조의 주석 및 인 함량의 영향에 대한 연구가 이루어졌다. 최대 1.0 % 주석과 3을 포함하는 ...
  • 금속도금은 수백년 동안 사용된 고대 기술 이다. 전도성 표면에 금속을 전착하여 물체의 표면을 피복하는 행위로 정의할수 있다. 이것은 일반적으로 금속이온이 전기장에 의...
  • 크롬산 용액 중의 3가 크롬 이온과 황산의 양을 변화 시켰을 때 크롬산 용액 중의 6가 크롬 이온의 전착 반응에 수반하는 음극 분극 곡선의 변화를 검토했다. 3가 이온과 황...
  • 약 1.75 X 10(-5) 이상의 이온화 상수를 갖는 약 5~95 중량 %의 산을 포함하는, 산과 반응하여 또한 황화수소를 형성할수 있는 피막을 제거하기 위한 산 세정제 조성물 및 ...