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단결정 실리콘사에 무전해 치환 석출된 백금 미립자의 수 밀도
Particle Density of Pt produced by Electroless Displacement Deposition on Single-Crystalline Silicon

등록 2015.10.23 ⋅ 25회 인용

출처 표면기술, 65권 10호 2014년, 일어 4 쪽

분류 연구

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기타

単結晶シリコン上へ無電解置換析出する白金微粒子の数密度

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.12.23
석출입자수 밀도의 변화가 큰 백금 Pt 를 선별하여, 3 종류의 방법으로 전처리한 실리콘 Si 에의 무전해치환 석출에 관하여, 석출시간과 Pt 입자수 밀도의 관계를 조사
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  • 방청제의 종류, 탈지처리후의 소프트에칭 처리의 효과, 프리블랙스의 내열성에 관하여 검토한 결과 등에 관한 보고
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