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구리 도금층을 이용한 미세 열유속 센서
The Micro Heat Flux sensor using Electrodeposited Copper Layers
자료
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분류
유속센서 ⋅
자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2015.01.23
이전의 미세열유속센서가 가지고 잇는 단점을 극복할 수 있는 센서를 개발하고자 하였으며, 열이 흐르는 경로의 저항을 줄이고 단열층의 열정항을 증가시킴으로써 감도를 높이고자 하였다.
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