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MEMS 용 역펄스 자성도금 공정
Pulse Reversal Permalloy Plating Process for MEMS Applications

등록 : 2015.03.21 ⋅ 23회 인용

출처 : ECS Transactions, 3권 25호 2007년, 영어 11 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.07.11
니켈-철, 특히 퍼멀로이 도금은 40년 이상 알려져 사용되어 왔지만 여전히 해결해야할 안정성 및 유지 관리와 관련된 몇가지 문제가 있다. 저응력 도금으로 사카린이 없는 펄스반전 도금 퍼멀로이 전해질을 제시하고 선택된 MEMS 응용을 시연하였다. 강력한 착화제인 5-설포살리실산을 사용하면 도금욕에 Fe3+ ...
  • 석신산과 말론산을 포함하는 크롬(iii) 황산염 전해질에서 니켈-크롬 합금의 전착 역학을 연구했다. 전기분해 모드와 전해질의 pH가 얻어진 피막의 조성과 품질에 미치는 영...
  • 텅스텐과 그 합금은 특정 트라이볼로지, 자기, 전기 및 전기 부식 특성 때문에 이론적 측면과 응용적 측면에서 모두 관심을 받고 있다. 전기 도금된 Ni-W 합금은 높은 내열...
  • 전해질의 다양한 첨가제 조성을 사용하여 전해 정제에서 구리전착의 극성 및 미세구조 거동을 논의하였다. 글루와 티오우레아의 농도와 글루/티오우레아의 농도 비율이 서로...
  • 크롬도금을 위한 전해 크롬산욕는 6가크롬을 기반으로하며, 촉매로 수용성 피리디늄 유형 화합물 (예 : 고리에 질소원자를 포함하는 5 탄소 원자 복소환 화합물) 을 포함 한다.
  • HLB
    HLB ^ Hydrophile-Lipophile Balance 친수ㆍ친유성 정도를 나타내는 방법으로 HLB (보통 친수성 밸런스) 라고 부른다. HLB 값은 0 에 가까울수록 친유성이 크고, 20 에 가까...