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포름산계 과황산염계 조화액에 의한 구리의 에칭공정의 전기화학적 해석
Electrochemical Analysis of Copper Etching Process by Formic Acid Type, Persulfate Type Roughening Solution

등록 : 2019.11.11 ⋅ 29회 인용

출처 : 표면기술, 70권 5호 2019년, 일어 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Kosei ITO1) Chihiro TAGA2) Sachio YOSHIHARA3) Naokatsu NOJIRO4) Shinji ISHIDO5) Yoshihiro KIKUCHI6)

기타 :

ギ酸系，過硫酸塩系粗化液による，銅のエッチング工程の電気化学的解析

자료 :

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분류 :
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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 표면세상 | 최종수정일 : 2021.01.30
에칭과정의 교류 임피던스 측정함에 따라 에칭표면의 리얼타임으로 거칠기 변화를 모니터링할 목적으로, 전자간력 현미경측정에 의한 표면거칠기와 교류 임피던스 측정 결과와의 상관성을 검토

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