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포름산계 과황산염계 조화액에 의한 구리의 에칭공정의 전기화학적 해석
Electrochemical Analysis of Copper Etching Process by Formic Acid Type, Persulfate Type Roughening Solution
등록
:
2019.11.11
⋅ 24회 인용
출처
:
표면기술
, 70권 5호 2019년, 일어 5 쪽
분류
:
연구
자료
:
있음(다운로드불가)
저자
:
Kosei ITO
1)
Chihiro TAGA
2)
Sachio YOSHIHARA
3)
Naokatsu NOJIRO
4)
Shinji ISHIDO5) Yoshihiro KIKUCHI6)
기타
:
ギ酸系,過硫酸塩系粗化液による,銅のエッチング工程の電気化学的解析
자료
:
분류 :
교류임피던스
⋅
포름산
⋅
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도금 첨가제 원료공급
자료요약
카테고리 :
엣칭/부식
| 글입력 : 표면세상 | 최종수정일 : 2021.01.30
에칭과정의 교류 임피던스 측정함에 따라 에칭표면의 리얼타임으로 거칠기 변화를 모니터링할 목적으로, 전자간력 현미경측정에 의한 표면거칠기와 교류 임피던스 측정 결과와의 상관성을 검토
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