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플라즈마를 이용한 세척기술과 그 응용
Plasma Cleaning Technology and Typical Application

등록 2019.11.16 ⋅ 30회 인용

출처 표면기술, 69권 10호 2018년, 일어 5 쪽

분류 연구

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저자

기타

プラズマを利用した洗浄技術とその応用

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자료요약
카테고리 : 산세/탈지 | 글입력 : 표면세상 | 최종수정일 : 2019.11.16
플라즈마 크리닝장치의 구조에 관하여 개념에 관하여 설명하고 실제 플라즈마 구조를 설명