도금 첨가제 제조 원료약품 - 플라즈마를 이용한 세척기술과 그 응용

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플라즈마를 이용한 세척기술과 그 응용

Plasma Cleaning Technology and Typical Application

등록 : 2019.11.16 ⋅ 12회 인용

출처 : 표면기술, 69권 10호 2018년, 일어 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Kiyotaka KATO¹⁾

기타 :

プラズマを利用した洗浄技術とその応用

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자료요약

카테고리 : 산세/탈지 | 글입력 : 표면세상 | 최종수정일 : 2019.11.16

플라즈마 크리닝장치의 구조에 관하여 개념에 관하여 설명하고 실제 플라즈마 구조를 설명

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