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전해/무전해 석출법을 이용한 미소기능 구조체의 형성
Fabrication of fuctional microstructure by electrochemical and electroless deposition process

등록 : 2008.08.01 ⋅ 31회 인용

출처 : 표면기술, 55권 4호 2004년, 일어 5 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 도금자료기타 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.11.16
스루마스크형 프로세스에 의한 도금 기능미소구조체 형성에 관하여 설명하고, 도금 프로세스에 있어서 미세구조 형성의 특징으로 마스크리스형 프로세스도 중요 하므로, 상세한 개요를 설명 [電解・無電解析出法を用いた微小機能構造体の形成]
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