환원제로 Co(II)-에틸렌디아민을 사용한 무전해 구리 석출의 자기 어닐링에 대한 Pd 활성화의 효과
우리는 환원제로 Co(II)-에틸렌디아민을 사용하여 무전해 구리 Cu 도금에서 자체 어닐링에 대한 팔라듐 Pd 활성화의 효과를 조사하였다. Pd 입자의 크기와 개체수는 Pd 이온 농도와 활성화 시간에 의해 제어되어 면저항의 변화를 초래하였다. Pd 입자의 개체수가 적은 반면 109cm-2d 는 후속 무전해 도...
구리/Cu
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J. Vac. Sci. Technol. · Mar/Apr 2005 · 이창화 ·
김재종
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