선택적 무전해 니켈 도금을 위한 실리콘 소재의 팔라듐 활성화 연구
소재로 p-형 (100) 실리콘 웨이퍼가 사용되었으며, 활성화 용액의 성분은 Si 의 부식 및 해리된 Si 이온을 안정화 시키기 위한 불산 HF 와 염화팔라듐 PdCl2 용해 및 pH 조절을 위한 염산 HCl 이 사용되었으며, Pd의 반응 비율을 일정하게 유지하기 위하여 EDTA 가 사용되었다.
니켈/Ni
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na · 1991년 추계학술발표회 · 권용한 ·
김영기
외 ..
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