환원제로 Co(ii)-에틸렌디아민에 대한 구리박막 기반의 전해 석출의 자기 아니링 효과
블랭킷 TiN 웨이퍼에 무전해 도금된 구리 피막의 자체 어닐링에 대한 연구가 다양한 두께에 대해 수행되었다. 100-260 nm 두께의 구리 필름의 시트 저항은 자체 어닐링에 의해 80-90 % 감소했습니다. (111) 배향 및 입자 성장의 향상을 포함한 미세구조의 변화를 조사했다. 염소 고정자가 어닐링에 영향...
구리/Cu
·
na · na · 김재정 ·
이창화
참조 58회
|
