구리 전착막의 결정과 에칭 용액의 첨가제 종의 에칭 인자에 대한 영향
전해동박의 결정과 식각액의 첨가종류가 식각거동에 미치는 영향을 조사하였다. 서브트랙티브 방법을 사용한 습식에칭 중 에칭인자를 개선하였다. 구리 전착막의 결정면은 전류밀도를 100 mA 에서 10 mA 로 변화시켰을 때 전해동박의 결정방위가 랜덤한 방향을 나타내며 결정자는 더 작아졌다. FeCl3 를...
구리/합금
·
표면기술 · 71권 11호 2020년 · Akira HOSOMI ·
Hiroyuki KOUDA
외 ..
참조 25회
|