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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.06
선폭이 70~200 nm 인 코발트 나노와이어의 전기도금 공정을 개발했다. 도금전해질은 황산코발트 CoSO4 와 유기첨가제인 디메틸 디티오 카바민산 에스테르 나트륨염 (DAESA) 으로 만들어 졌다. 도금 전해액의 DAESA 는 도금된 코발트 박막의 표면 거칠기를 가속화하고 감소시키는 효과가 있었다. 도금 전류밀도가 6.25 mA/cm2...