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검색글 J. Nanosci. Nanotechnol. 1건
선택적 무전해 석출에 의한 실리콘 Si 소재에 대한 금 Au 나노 구조
Gold Nanostructuring on Si Substrate by Selective Electroless Deposition

등록 2009.09.26 ⋅ 61회 인용

출처 J. Nanosci. Nanotechnol., 7권 7호 2007년, 영어 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 금/Au | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.12.05
폴리비닐 피로리돈 (PVP) 과 메르캅토 데칸산 (MUA) 을 도금액의 첨가제로 사용했다. 또 다른 공정에서는 실리콘 Si 소재를 건식 디크로로메탄 (OTS / DCM) 의 옥타데실 트리크로로 실란에 간헐적으로 침저처리 하였다. 나노 구조체의 형태는 원자간력 현미경 (AFM) 과 주사전자 현미경 (SEM) 을 사용하여 연구되었으며, 나...
  • 트렌치와 비아의 전기도금에 의한 구리충전은 비아필링이라고 하고, 배선형성에 있어서 매우 중요한 과정이다. 첨가제를 포함하지 않는 욕에서 비아필링하면 트렌치와 ...
  • 종래의 붕수소화물 또는 보란계의 도금욕의 문제점을 언급하고, 현재까지 그것이 어떻게 개량되고 있는가를 고찰하고 이어서 그외의 화합물을 환원제로 하는것에 대하여 최...
  • 주사 전자현미경 ^ Scanning Electrone Microscope (SEM) SEM 이라고도 하며 시료의 표면을 전자빔을 통하여 주사하여 형상화하는 전자현미경의 일종이다. 고속의 전자를 발...
  • 피로시험 ㆍ Fatigue Test 반복되는 응력이나 변형의 영향을 받는 재료의 거동을 피로 (fatigue) 라고 하고, 재료의 어느 부분이 변동응력이나 변형률을 일으켜 균열이 최고...
  • 팔라듐을 첨가한 무전해 니켈-팔라듐-인 Ni-Pd-P 합금도금의 접점재료로서의 적용성에 관하여 검토