로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 ULSI 4건

습식도금 자료분류

자료수 10840 건

추천글

Tag LIST

ULSI 배선상의 무전해니켈 도금에 의한 베리어 메탈의 형성
Formation of Barrier Metal Using Electroless Nickel Deposition on ULSI Wiring

등록 : 2014.11.17 ⋅ 5회 인용

출처 : 일렉트로닉스실장학회지, 4권 4호 2001년, 일어 4 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

ULSI 配線上への無電解ニッケルめっきによるバリアメタルの形成

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.11
현재 베리어층으로 사용되고 있는 질화규소 SiN 막의 대체로, 무전해니켈 합금도금을 이용한 50 nm 정도의 피막을 독립화한 구리의 패턴위에 성막하여, 소위 캡메탈 형성에 관하여 검토
  • 인탈산구리 ^ Phosphorus Deoxidized Copper 구리를 가열용해 할때 탈산제로 인을 첨가하여 제조한 순구리를 말하며 보통 0.04% 이하로 잔류한다. [황산구리도금|황산구리 ...
  • 스테인리스 스틸 의료 수술 바늘의 화학 연마에 있어서 문제점을 연구하였다. 봉합침의 연마용액조성의 영향과 연마품질에 있어서 공정변수와 내식성을 조사했다. 실험 테스...
  • 양극산화층의 특성 부식방지 내마모성 우수한 밀착력 전기절연 단열
  • 소경 스루홀 내에 균일석출성, 막물성을 향상할 목적으로, 정전류법의 인가 전류파형 효과에 관한 연구
  • 금의 공급원으로 시안화물 화합물을 포함하지 않고 일반식적으로 분해억제제를 포함하는 무전해금 Au 도금용액이 제공됩니다. 단, 용액에 아황산염과 분해의 금복합체가 포...